真空计检漏灵敏度

上面已经分别描述了热传导真空计方法，电离真空计方法和差示真空计方法，并且它们的灵敏度可以通过共同的表达式来表达。让真空系统有一个泄漏率为q的泄漏孔。当泄漏孔的入口端是大气压空气时，真空计的读数为N。当泄漏孔的入口端进入某种泄漏物质时，真空计的读数为N2。如果q = 0，则真空计读取No。引入系数phi，并将phi称为折叠系数。如果真空系统的抽速为S，则真空计z *可以读取压力变化到ΔpA（对于空气），则z *的泄漏检出率小：如果工作压力为pA，则制作了多个真空计该方法的phi和ΔpA分别列在表13-8和表13.9中，ApA和pA之间的关系示于图13-15中。表13中的仪表板，表8，表13-9和图13-15的使用方法如下所示：如果将氢气用作泄漏气体，则使用单个电离真空计检测泄漏，表13-9显示：垂直--0.4，如果抽速S-10L / s，pA-10-4Pa，从图13-15的曲线（1）可以看出，ApA = 2倍，10-6Pa，使用公式（ 13-37）得到的结果与公式（13）-32）的计算结果基本一致。