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真空系统中的残留气体分析

使用质谱仪的模拟扫描模式(或棒扫描)为仪器的工作质量范围内的系统进行全光谱扫描选择合适的参数,并记录系统残留气体的全光谱。通常,对于扫描高真空系统的整个光谱的质量范围选择lu〜100u就足够了。小型质 2019-11-27

pV气流概念

通过将通用气体方程式(公式1-6)除以时间t来计算pV气体流量。从等式的右边可以看出,恒定质量流量在恒定温度T处被替换。这也称为pV流量或气体通过量。吞吐量是真空泵输送的气流。 1.8中给出了各种空气 2019-11-26

弯针法兰尺寸

按照表6-38的要求(包括工作表图纸)对活套法兰进行加工(平面法兰没有开槽),并按照表6-39及其图纸的要求加工活套法兰。密封槽应在面向空气流动方向的法兰平面上敞开。表6-38和6-39中列出的尺寸不 2019-11-25

水环真空泵机械密封的更换与拆卸步骤

水环真空泵机械密封的更换和拆卸步骤:1.拆下机械密封在水环真空泵两端的冷却水管。 2.拆下动力端皮带轮(更换非动力端机械密封件时无需执行此步骤),3.动力端和非动力端的机械密封件被拆除并悬挂在轴上。注 2019-11-22

真空计:分离表和短表概述

分离规(图11-56)与约束规的不同之处在于,它收集极细的细金属丝。添加了离子反射器,没有抑制极,环形阴极安装在栅极周围。阴极,屏幕和离子反射器的电压为200V,栅极电压Vg ​​= 305V,发射电 2019-11-21

离子束蚀刻结构特性-离子源

离子源使用考夫曼型离子源,其中磁体轴向分散磁场结构。圆柱形阳极直径为150毫米,阴极直径为0.4毫米,长度为130毫米,并缠绕成内径约为2毫米的单螺旋,线中和剂的直径为0.4毫米长度为70mm,多孔钼 2019-11-20